شركة شنغهاي زينيكس لتكنولوجيا الطلاء الفراغي المحدودة هي شركة مقرها الصين الشركة المصنعة لمضخات التفريغ مع ما يقرب من 40 عامًا من الخبرة في معدات الطلاء الفراغي. تم تصميم مجموعة مضخات التفريغ الخاصة بنا لدعم متطلبات الإخلاء والعملية الصعبة للطلاء الصلب PVD والطلاء الزخرفي وأنظمة الطلاء الوظيفية. نحن نوفر المضخات التي تشكل مرحلة الخط الأمامي الحرجة، مما يضمن الضخ السريع والضغط الأساسي المستقر والتشغيل الموثوق به عبر دورات الإنتاج المستمرة.
كمخلص مورد مضخات التفريغنحن نركز على حلول المضخات الميكانيكية / المضخات الأمامية التي تتكامل مباشرة مع آلات الطلاء الخاصة بنا ويمكن أيضًا تحديدها لأنظمة التفريغ الحالية. يقوم فريقنا الهندسي باختيار وتكوين كل مضخة بناءً على حجم الغرفة، وحمل الغاز المستهدف، والضغط النهائي المطلوب، ودورة عمل العملية.
نحن نقدم حاليًا عائلة منتجات أساسية واحدة ضمن هذه الفئة، مع خيارات تكوين لتتناسب مع أحجام أنظمة PVD المختلفة ومتطلبات العملية.
تعمل هذه المضخة كمرحلة أساسية للتخشين والدعم للمضخات عالية الفراغ مثل مضخات الانتشار أو المضخات التوربينية الجزيئية أو مضخات الجذور. فهو يقلل بسرعة ضغط الغرفة من الغلاف الجوي إلى نطاق 0.1–0.01 باسكال، مما يخلق بيئة خط أمامي مستقرة لمجموعة الضخ بأكملها.
تم اختيار مضخات التفريغ الخاصة بنا لتتناسب مع المتطلبات المحددة لتطبيقات طلاء PVD المختلفة. يلخص الجدول أدناه متطلبات العملية النموذجية وكيفية تعامل تكوينات المضخة لدينا معها.
| نوع الطلاء | الضغط الأساسي النموذجي | دور المضخة | التركيز على تكوين Zenix |
|---|---|---|---|
| الطلاءات الصلبة (TiN، TiAlN، CrN، DLC) | 10⁻³ – 10⁻⁴ با | خط أمامي لمضخة توربينية جزيئية/انتشارية | إنتاجية عالية، تدفق خلفي منخفض |
| الطلاءات الزخرفية (ZrN، TiCN، Cr) | 10⁻² – 10⁻³ با | التخشين والدعم | وقت دورة سريع، التحكم في رذاذ الزيت |
| الطلاءات الوظيفية (EMI، البصرية) | 10⁻³ – 10⁻⁵ با | خط أمامي لمضخة التفريغ العالي | اهتزاز منخفض، تشغيل نظيف |
تم تصميم مضخات التفريغ الخاصة بنا باستخدام سبائك عالية القوة ومعالجة حرارية متقدمة للمكونات الأساسية، مما يحقق متوسط عمر خدمة يتجاوز 20000 ساعة في ظل الظروف الصناعية العادية. نقوم بتحسين دائرة الزيت وتصميم الختم لتقليل استهلاك الطاقة والانبعاثات، وخفض تكاليف التشغيل على المدى الطويل.
تخضع كل مضخة لاختبارات المصنع قبل الشحن. نقوم بالتحقق من الضغط النهائي وسرعة الضخ ومستوى الضوضاء وإحكام التسرب. تتضمن مراقبة الجودة لدينا اكتشاف تسرب الهيليوم وقياس الأداء وفقًا للمعايير المرجعية. يتم تعبئة المضخات بأغطية واقية ومجفف لمنع التلوث أثناء النقل.
تم تصميم مضخات التفريغ الخاصة بنا للتكامل السلس مع آلة الطلاء الصلب PVD، أنظمة آلات الطلاء PVD الزخرفية، وأنظمة آلات الطلاء الوظيفية. نحن نقدم حواف المدخل/المخرج اللازمة، ومرشحات رذاذ الزيت، وحوامل عزل الاهتزاز. بالنسبة للتركيبات الحالية، يمكننا توفير مضخات بديلة ذات واجهات ومواصفات أداء متطابقة.
نحن نقدم أيضًا دعم التشغيل، بما في ذلك التحقق من منحنى الضخ، والتحقق من التسرب، وتدريب المشغلين على إجراءات الصيانة.
لإعداد اقتراح دقيق، نحتاج عادةً إلى تفاصيل المشروع التالية:
نحن نوفر قطع غيار أصلية بما في ذلك الزيت والمرشحات والأختام والدوارات. يمكن لفريق الخدمة لدينا توفير جداول الصيانة الوقائية واستكشاف الأخطاء وإصلاحها عن بعد. بالنسبة للعملاء العالميين، نقوم بالتنسيق مع شركاء الخدمة المحليين لضمان الدعم في الوقت المناسب.
نحن نوفر حاليًا حلول المضخات الميكانيكية / المضخات الأمامية المُحسّنة لأنظمة طلاء PVD. تعمل هذه المضخات كمراحل تخشين ودعم للمضخات ذات الفراغ العالي.
نعم، يمكن تكوين مضخاتنا بواجهات شفة قياسية وخصائص أداء لتحل محل المضخات أو تكملها في أنظمة التفريغ الحالية. سنحتاج إلى طراز المضخة الحالي ومواصفات النظام للتأكد من التوافق.
في ظل ظروف التشغيل العادية مع الصيانة المناسبة، تتمتع مضخاتنا بعمر خدمة متوسط يتجاوز 20 ألف ساعة. يعتمد العمر الفعلي على غازات العملية ودورة العمل وفترات تغيير الزيت.
نعم، نحن نقدم دعم التشغيل بما في ذلك التحقق من منحنى الضخ، واختبار التسرب، وتدريب المشغلين. المساعدة عن بعد متاحة أيضًا.
تأتي كل مضخة مع دليل التشغيل ودليل الصيانة وتقرير الاختبار. يمكننا أيضًا تقديم شهادات المواد ووثائق الامتثال عند الطلب.